金立盾电子设备有限公司[1-2]，作为国内领先的高端半导体装备制造企业，开发的扩散设备（Diffusion）、化学气相沉积设备（CVD）、退火设备（Annealing）等核心产品已广泛应用于集电（Semiconductor）、半导体照明(LED)、微机电系统(MEMS)、功率半导体（PowerIC）、先进封装（AdvancedPackaging）、光通(OpticalCommunication)及化合物半导体（CompoundSemi）等尖端领域。金立盾电子经过多年的发展，形成了扩散工艺、薄膜工艺、等离子技术、精密机械、自动化及软件、超高真空等核心技术优势，为微电子产业的快速发展提供了值得信赖的产品和服务。[1-2]